加速电压：200 kV；TEM点分辨率：0.25 nm，线分辨率：0.14 nm，信息分辨率：0.12 nm；STEM分辨率：0.16 nm；放大倍数：25~1500000 (TEM), 150~2300000 (STEM)

该仪器具有衍衬成像、高分辨成像、Z衬度成像、电子衍射、能谱分析和三维重构等多种功能

CCD数字成像系统，X射线能谱仪（EDS），扫描透射（STEM），高角环形暗场探测器（HAADF），三维重构（Tomography）