为满足广大校内师生对高质量科研成果的迫切需求，分析测试中心引进高性能扫描电镜（TESCAN），耦合多类原位测试装置，实现扫描电镜原位高通量测试（SEM-EDS/高分辨EBSD/XRF/高低温力学测试平台联用），现已调试完毕开始试运行，试运行期间价格优惠。
试运行期间，开放教师操机时段（8:30~17:30），其他时段开放时间根据用户需求和实际情况另行通知。
放置地点：哈工大科学园科创大厦J317
设备联系人：杨老师（15636078806）；李老师 （13633637142）
一、设备优势
扫描电镜原位高通量荧光纳米力学测试系统用于材料表面微观结构超高分辨率成像，获取形貌信息、成分衬度信息，非镀膜条件下进行低电压高分辨成像及原位力学行为分析。配备EDS、高分辨EBSD和XRF以及原位力学附件，可对样品表面微区元素成分进行定性定量分析、晶体学取向分析以及材料内部纵深无损成分分析；可进行高低温原位拉伸、弯曲等原位组织及力学性能表征，对微观变形形貌及断裂机制进行动态原位观察与分析。
二、技术指标
1.扫描部分
（1）图像分辨率：高真空二次电子分辨率：0.9nm@15kV，1.2nm@1kV；
（2）放大倍数：2X～2,000,000X；
（3）束流大小：1pA～400nA；
（4）样品台：5轴全自动马达驱动；
（5）探测器：样品室内二次电子探测器；样品室内水冷背散射电子探测器（具备水循环冷却功能）；独立的镜筒内轴向探测器；独立的镜筒内多功能探测器（具备能量过滤功能，可获得Low-Loss BSE图像，进一步提升试样表面的敏感度）。
2. EDS部分
（1）探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，有效面积≥100mm2；
（2）能量分辨率：在130,000cps条件下Mn-Ka保证优于129eV，轻元素分辨率C-K/57eV, F-K/67eV；
（3）元素分析范围：Be4～Cf98；
（4）谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV；
（5）具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位；
（6）处理单元与计算机采用分立式设计，系统最大输出计数率≥600,000cps；
（7）谱定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围；可自动扣除背底，并支持用户手动调整；可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离；
（8）配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K,L,M和N线系)，实现1-30kV精确定量；
（9）配备全息面分布和实时解卷积功能。
3.EBSD部分
（1）Digiview高分辨CCD相机EBSD探测器提供高分辨花样采集
（2）速度198点/秒，像素分辨率1392×1040；
（3）取向测量精度：优于0.1度；
（4）采用三条带组指标化算法，不依赖单一条带的清晰度，并具有置信度CI因子评价系统，判断衡量相对于所有解的可能中该取向的置信度；
（5）配有AMCS数据库，专用数据库，支持所有主要的第三方数据库，并可人工创建数据库；
（6）能够对所有7个晶系的晶体材料进行自动标定化。
4. 微区XRF
（1） X射线光管类型：高亮度金属陶瓷微焦斑Ｘ射线光管，Rh靶材，额定50kV，600μA；
（2）采用多导毛细管聚焦，光斑大小为15μm；
（3）4级初级滤片，包括空、100µm Al、20µm Ti以及15µm Ni；
（4）操作软件与能谱仪实现一体化，电子束激发和X射线激发一键切换，一键实现自动连续采集相同区域电子束激发和X射线激发谱图，除XRF定量外还可与能谱仪进行联合定量分析，显著提高定量准确度；
（5）配备X射线激发选区分析、线扫描、全息面分布等功能；
（6）配备mapping快速样品台Rapid stage，实现大样品的超快面分布。
5. 高低温原位拉伸台
可在扫描电镜下进行原位高/低温拉伸和原位高/低温压缩测试试验；配有5KN、100N两套传感器和夹具，适用于金属、金属复合材料、薄膜、纤维等样品。
（1）最大载荷5KN；
（2）动态力分辨率：≤1牛；
（3）拉伸速度范围：0.3µm/s至50µm/s；
（4）拉伸位移量：≤45mm；
（5）位移分辨率：≤100nm；
（6）试样加热：≤1200℃；
（7）试样制冷：≥-150℃；
（8）加热温度稳定性：≤1℃；
（9）拉伸同时，试样可倾斜70度，与EBSD联用分析试样在常温、低温加载情况下的组织结构变化；
（10）配备100N传感器及夹具。
分析测试中心
2024年3月20日