分析测试中心购买的捷克TESCAN公司MAGNA场发射扫描电镜，目前已经调试完成并投入运行。欢迎老师同学前来咨询测试！该设备安放地点、联系方式、测试功能及技术指标等如下：

安放地点：

哈尔滨工业大学科学园B1栋213室

设备负责人：

郑振

联系电话：

18045012582

测试功能：

• 扫描电镜：二次电子成像，背散射电子成像
• X射线能谱：元素含量定性、半定量分析
• EBSD晶体取向分析

技术指标：

• 二次电子像分辨率（SE）：≤0.6nm （15kV），≤0.9 nm （1kV）；
• 背散射电子像分辨率（BSE）：≤1.6nm （15kV），
• 加速电压：调整范围：0.05-30 kV，调整步长≤100V。
• 束流强度：2pA to 400 nA。
• 放大倍数范围: 5-2,000,000倍，粗、细调模式连续可调。
• 能谱探测器采用Si₃N₄新型SDD探测器窗口，晶体有效活区面积≥70mm²。
• 分析元素范围：Be4~Am95。
• 能量分辨率(Mn-Ka)：优于127eV
• 最大输入计数率 ≥160万CPS，最大输出计数率≥70万CPS。
• EBSD相机：采用光学透镜耦合的CMOS相机技术，扫描和指标化速度6700点/秒；像素分辨率640×480。在最高采集速度时，像素分辨率不小于120×120取向测量精度：优于0.1度。

应用领域及特色：

该设备可用于材料、机械、地质、物理、化学、生物等各领域样品表面微观形貌检测，表面元素成分定性、半定量分析，以及样品晶体学取向的分析。

特色1：浸没式物镜提供低电压高分辨成像能力

500V与15kV加速电压，100万倍放大-TiO₂纳米颗粒观察

特色2 二次电子(SE)成像，常规形貌衬度下提供优异的立体感

特色3: 减速模式下获得最佳分辨率, 无荷电高分辨表面形貌像

特色4 提供优异的成分衬度形貌衬度和ECCI成像

特色5 多模式同时成像同时观察分析

特色6 强大的EBSD信号采集和数据处理功能

收费标准（试运行）：

• SEM、EDS分析：教师操作：300元/小时；自主操作：250元/小时（8-17时）；230元/小时（17-24时）；200元/小时（0-8时）。
• EBSD分析：600元/小时。

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