分析测试与计算中心购买的Fischione公司透射样品制备系统，目前已经调试完成并投入使用（试运行）。欢迎老师同学前来咨询测试。该设备安放地点、联系方式、测试功能及技术指标等如下：

安放地点：

哈尔滨工业大学科学园B1栋201

设备负责人：

陈伟

联系电话：

13845119764

测试功能：

该系统主要由微束定点精修系统、精密全自动离子减薄仪、纳米等离子清洗仪，精密凹坑仪、圆片打孔器及电解双喷仪等制样及辅助仪器组成，可实现（1）常规块材透射电镜样品从宏观尺度到电子束穿透厚度薄区制备及 FIB 样品精修；（2）满足金属类延展材料所需的圆片打孔器；（3）全自动电解双喷仪实现导电金属块材到电子束穿透厚度薄区制备；（4）纳米等离子清洗仪去除透射/EBSD/扫描样品、样品杆上的污染，防止碳沉积提升样品拍摄图像分辨率及样品微区成分分析准确性。

透射样品制备系统功能简介

技术指标：

Ø  微束定点精修系统：

配备二次电子探头，可实现加工的同时进行高分辨观察，具备纳米级分辨率；

离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品；

配备液氮冷台，温度控制范围-170 ℃~室温连续可调；

Ø  全自动精密离子减薄仪及配套前处理设备：

束斑尺寸：覆盖不小于 300μm 到 5mm 范围，在每个电压下均可连续调节，实现低电压快速精修；

配备液氮冷台，能够去除离子减薄带来的热效应，温度控制范围-150 ℃~室温，一次加注液氮可持续使用 18 小时以上；

Ø  纳米等离子清洗仪：

采用 ICP 诱导方式（(13.56MHz)）产生等离子体，同时通过配备的 Downstream 区域能够去除等离子体中的离子/电子成分，不产生溅射损伤和热效应对样品的破坏；

等离子体能量：＜12eV；

配备三路气体输入，切均有气体质量流量计用于精密控制气体流量，能够实现任意组分气体的混合；

能够同时清洗至少 2 根透射电镜样品杆，且清洗样品舱能够清洗不小于 3.5 英寸的样品；

配备专用样品杆真空存储站，可同时存储不少于 5 根透射电镜样品杆，且可以独立控制每根真空。

Ø  全自动电解双喷仪：

电压可调范围：0 - 120V 直流电压；

电流可调范围：0 - 100 mA 直流电流；

穿孔后自动中止；

可用液氮和无水乙醇的混合物冷却。低温至–60°C。

应用领域：

该设备可用于材料、机械、地质、物理、化学、生物等各领域透射电镜样品制备、精修、清洗。

收费标准（试运行）：

Ø  微束定点精修：教师操机：500元/个；自主操机：350元/个。

Ø 离子减薄：教师操机：500元/样，时间限5小时内；5小时以上每小时加收80元，最高加收不超过300元。自主操机七折。

Ø 低温离子减薄：教师操机：600元/样，时间限5小时内；5小时以上每小时加收100元，最高加收不超过300元。自主操机七折。

Ø  凹坑：教师操机：60元/个；自主操机：40元/个。

Ø 电解双喷：教师操机：100元/个（5个样品以内），80元/个（5个及以上样品）；自主操机：60元/个（5个样品以内），50元/个（5个及以上样品）。

Ø  等离子清洗：50元/次。

分析测试与计算中心

2023年9月15日